PATENTs
My patents focus on the fields of semiconductor manufacturing and Industry 4.0. Patent applications in the United States and Taiwan.
Mechanisms for monitoring ion beam in ion implanter system
US Patent
- US9293331
# Semiconductor
In accordance with some embodiments, an assembly of an ion implanter system is provided. The assembly includes a control unit, a wafer holder and a detecting device. The wafer holder and the detecting device are respectively positioned at two sides of the control unit. The control unit is configured to drive the wafer holder and the detecting device to rotate about at least one rotation axis.
Ion Implantation System and Assembly Thereof and Method for Performing Ion Implantation
TW Patent
- TWI534868B
# 離子植入
本發明之一目的在於提供一種適用於承載半導體晶圓以進行離子佈植製程之機械掃描驅動組件。根據本揭露之部分實施例，上述離子佈植的系統之機械掃描驅動組件包括：一控制單元、一晶圓承載器、及一偵測裝置。晶圓以及偵測裝置係各自位於控制單元之兩側。控制單元係配置以驅動晶圓承載器及偵測裝置繞至少一旋轉軸旋轉。在部分實施例中，控制單元包括一第一控制機構，第一控制機構係配置以驅動晶圓承載器及偵測裝置繞一水平軸線旋轉，其中晶圓承載器及偵測裝置係位於第一控制機構之相反兩側。
在部分實施例中，第一控制機構包括一前方表面以及一後方表面，一中央軸線穿過前方表面及後方表面，其中晶圓承載器及偵測裝置係各自設置在前方表面及後方表面。並且，晶圓承載器及偵測裝置係沿中央軸線排列。
